CN

Omega 9870 宏观缺陷检测设备

-针对透明/半透明晶圆宏观缺陷检测；
-20+衬底/外延缺陷专项检测包；
-配置多视角多道光检测方案；
-可根据缺陷类型进行扩展；

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Omega 9880
无图形晶圆缺陷检测设备

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