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AI驱动的半导体缺陷检测
解决方案平台

Alpha 9770

Alpha 9770

有图形晶圆缺陷检测设备

AIRS

AIRS

人工智能复判系统

Omega 9880

Omega 9880

无图形晶圆缺陷检测设备

OpenLight

OpenLight

科研级晶圆缺陷检测平台

AI驱动的半导体缺陷检测解决方案平台
清软微视(杭州)科技有限公司是由杭州政府引进、清华大学入股的高新技术企业,聚焦 AI 驱动的半导体检测技术创新,核心团队来自清华大学、中科院及半导体龙头企业 KLA 等机构,研发人员硕博学历占比超 30%。

公司构建覆盖半导体全制程的检测体系:Omega 系列无图形晶圆检测设备采用自主研发多模态成像技术,攻克碳化硅及氮化镓等宽禁带材料缺陷检测难题,性能对标 KLA 8520 及 SICA 88;Alpha 系列有图形晶圆检测设备集成 AI 算法与大视场成像系统,前道工艺检测效率提升 30%,指标达 KLA 8935 与 Camtek Eagle 标准;Mu 系列 COT / COW 缺陷检测设备专为芯片厂出货检测设计,支持 3D 模块集成,检测结果对标 Camtek Eagle AP; 自主研发的 AIRS 人工智能复判系统替代 70% 人工复检,适配全制程质控;DataPulse 数据分析平台深度挖掘缺陷数据助力工艺优化。

作为杭州市 2022 年度第一批高层次人才创新创业重点推荐项目,清软微视在过去两年内分别获评国家高新技术企业、凤凰 511 新苗企业、杭州市博士创新站等荣誉,并成功参与国家科技部 2030 重大专项、浙江省尖兵项目等项目,致力于突破半导体产业链核心检测技术瓶颈,为行业“卡脖子”问题提供国产化解决方案。
2022

完成了天使轮

12+

自主研发产品

100+

顶尖院校高端人才

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