清软微视无图案晶圆缺陷检测设备发运,国产创新再突破!

2024.11.26 2024.11.26
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近日,由清软微视(杭州)科技有限公司研发生产的无图案晶圆缺陷检测设备Omega 9880又一次成功发运并交付至行业头部客户。这一里程碑标志着软微视在半导体检测技术领域的关键突破,意味着其在量产化与标准化进程中迈出了坚实的步伐,巩固了公司在半导体量检测设备市场的竞争地位。 

Omega 9880凭借其出色的性能表现与创新技术,成为半导体行业高精度检测的得力助手。设备精准对接SiC材料检测的多元需求,可全面覆盖 4、6、8吋SiC 衬底及外延片,贯穿衬底厂出货终检、外延厂来料检、外延片出货终检以及芯片厂来料检等多个核心环节,为半导体产业链的质量把控提供了有力保障。


Omega 9880设备的光路系统高度集成了明场(含 DIC)、暗场、PL(光致发光)等多种先进成像方式,能够以高效、无损的方式对 SiC 衬底与外延的表面缺陷及晶格缺陷进行高精度检测。这种技术集成的优势,使 Omega 9880 在检测精度与效率方面均跃升至行业前沿水平,为半导体产品的高质量生产奠定了坚实基础。

在软件功能上,Omega 9880 同样表现卓越。它搭载先进的人工智能图像处理算法,能够迅速且精准地识别与分类各类缺陷,为生产决策及时提供可靠的数据支撑。同时,该设备还支持远程升级与诊断功能,确保设备始终维持在最佳运行状态,有效降低维护成本与停机时间


截至目前,Omega 9880 已在国内多家头部客户的生产环境中顺利完成验证工作,其卓越的性能与稳定的运行表现赢得了客户的广泛赞誉与高度认可。

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