清软微视无图案晶圆缺陷检测设备发运,国产创新再突破!
2024.11.26
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近日,由清软微视(杭州)科技有限公司研发生产的无图案晶圆缺陷检测设备Omega 9880又一次成功发运并交付至行业头部客户。这一里程碑标志着软微视在半导体检测技术领域的关键突破,意味着其在量产化与标准化进程中迈出了坚实的步伐,巩固了公司在半导体量检测设备市场的竞争地位。
Omega 9880设备的光路系统高度集成了明场(含 DIC)、暗场、PL(光致发光)等多种先进成像方式,能够以高效、无损的方式对 SiC 衬底与外延的表面缺陷及晶格缺陷进行高精度检测。这种技术集成的优势,使 Omega 9880 在检测精度与效率方面均跃升至行业前沿水平,为半导体产品的高质量生产奠定了坚实基础。
截至目前,Omega 9880 已在国内多家头部客户的生产环境中顺利完成验证工作,其卓越的性能与稳定的运行表现赢得了客户的广泛赞誉与高度认可。