清软微视无图案晶圆缺陷检测设备发运，国产创新再突破！_企业新闻

清软微视无图案晶圆缺陷检测设备发运，国产创新再突破！

2024.11.26

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近日，由清软微视（杭州）科技有限公司研发生产的无图案晶圆缺陷检测设备Omega 9880又一次成功发运并交付至行业头部客户。这一里程碑标志着软微视在半导体检测技术领域的关键突破，意味着其在量产化与标准化进程中迈出了坚实的步伐，巩固了公司在半导体量检测设备市场的竞争地位。

Omega 9880凭借其出色的性能表现与创新技术，成为半导体行业高精度检测的得力助手。设备精准对接SiC材料检测的多元需求，可全面覆盖 4、6、8吋SiC 衬底及外延片，贯穿衬底厂出货终检、外延厂来料检、外延片出货终检以及芯片厂来料检等多个核心环节，为半导体产业链的质量把控提供了有力保障。

Omega 9880设备的光路系统高度集成了明场（含 DIC）、暗场、PL（光致发光）等多种先进成像方式，能够以高效、无损的方式对 SiC 衬底与外延的表面缺陷及晶格缺陷进行高精度检测。这种技术集成的优势，使 Omega 9880 在检测精度与效率方面均跃升至行业前沿水平，为半导体产品的高质量生产奠定了坚实基础。