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全部化合物半导体检测设备硅基半导体检测设备 AIRS 智能复判系统科研级产品OpenLight

主要有三代半导体GaN、SiC衬底及外延检测设备，具有业界认可的自研光学系统，对标国际知名企业，性能上得到行业认可。

Alpha 9770

有图形晶圆缺陷检测设备

AIRS

人工智能复判系统

Omega9880

无图形晶圆缺陷检测设备

OpenLight

自动光学显微成像系统

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