有图案晶圆缺陷检测设备 Alpha 9770
聚焦前沿科技！清软微视产品入选中关村前沿大赛集成电路十强榜单
2024.12.24
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12月17日，第八届中关村国际前沿科技大赛集成电路领域的决赛在中关村集成电路设计园隆重举行，清软微视（杭州）科技有限公司研发生产的有图形晶圆缺陷检测设备Alpha 9770入选集成电路领域TOP10榜单。中关村国际前沿科技大赛作为中关村论坛的重要组成部分，致力于紧密追踪全球前沿科技的最新发展动态。大赛通过“全球邀约、自由探索、公开路演”的模式，旨在发掘和选拔拥有国际领先技术的企业和创新团队，构建一个高水平的前沿科技展示与交流平台。
清软微视本次入选的产品Alpha 9770是半导体前道制程有图形检测设备，适用于4/6、6/8、8/12英寸晶圆，以及Si、SiC、GaN及LT等多种材料，可针对半导体工艺制程中的Inline、COW及COT进行高效率、高精确度的缺陷检测。Alpha 9770对标国外同类机台时，使用大视场、多通道成像技术，检测效率有大幅度提升；使用深度神经网络进行缺陷检出和分类，在检出率和准确率上都有大幅提升；同时配置了实时对焦功能，保证对不同沟槽深度及不同程度翘曲的晶圆片都能清晰成像。目前Alpha 9770设备已在部分国内知名客户交货，获得广泛认可。
