新年第一弹！清软微视有图案晶圆缺陷检测设备再次发运交货_企业新闻

新年第一弹！清软微视有图案晶圆缺陷检测设备再次发运交货

2025.01.10

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新年伊始，清软微视（杭州）科技有限公司传来喜报——其自主研发的有图案晶圆缺陷检测设备Alpha 9770，再次成功斩获国内知名客户的订单，并顺利完成发运。

装机发货现场图

此次交付的Alpha 9770机型，是专为半导体前道制程量身打造的有图案检测设备，凭借其卓越性能，可广泛适用于4/6英寸、6/8英寸、8/12英寸等多种规格的晶圆，同时兼容Si、SiC、GaN及LT等多种半导体材料，满足不同工艺需求。

在半导体工艺制程中，Alpha 9770能够针对Inline、COW及COT等关键环节，进行高效率、高精确度的缺陷检测。与国外同类设备相比，Alpha 9770在技术上实现多项突破：采用大视场、多通道成像技术，大幅提升了检测效率，使设备能够在更短时间内完成对晶圆的全面扫描；借助深度神经网络算法进行缺陷检出和分类，显著提高了检出率和准确率，确保微小缺陷无处遁形，为产品质量把控提供有力保障；同时，设备还配备了实时对焦功能，并可选配SMIF上料机构等，以确保检测的可靠性和易用性。