清软微视携Omega 9880亮相Semicon China 2024
2024.03.25
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3月20日,SEMICON China 2024于上海新国际博览中心隆重揭幕。作为全球规模最大、规格最高、最具影响力的展会,本次展出面积达90,000平方米,有1,100家企业参展,集中展示了全球半导体制造领域的先进技术和解决方案,涵盖了从半导体生产设备、材料、设计、制造、封装测试到相关软件和服务等全产业链条。
清软微视携Omega 9880 - 化合物半导体缺陷检测设备亮相本次展会,并向观众们介绍了自研的半导体智能检测解决方案。
Omega 9880拥有清软微视自研高解析度成像系统,集成明场/DIC/暗场/PL等通道,对衬底、外延缺陷均可清晰成像;其中PL光路高效率激发、多通道采集、高精度成像等特性可令晶格缺陷成像更清晰、细节更丰富。Omega 9880支持衬底、外延、芯片全制程段缺陷叠图,提供最全面的缺陷失效分析能力,目前已经在国内多个头部客户完成验证。