如果你平时喜欢关注此类新能源汽车相关的话题，SiC MOSFET、SBD或IGBT等术语或许并不陌生。这些专业性词汇虽含义各有不同，但其本质都是半导体器件。半导体器件是指利用半导体材料的特性来控制电流流动的电子设备，而这些器件经过加工适配后，就可以广泛应用到诸如新能源汽车、充电设施、光伏逆变器以及智能手机等多个领域，成为产品不可或缺的“心脏”。
SiC MOSFET样图
制作一个合格的半导体器件，需要用到很多芯片作为支撑。而晶圆良率，作为衡量芯片质量的关键指标，一直是芯片制造商关注的焦点。长期以来，晶圆图案缺陷检测的准确性、效率以及自动化水平一直是行业内亟待解决的问题。此外，缺陷检测设备的国产化程度和性价比也是制约行业发展的重要因素。
值得庆幸的是，随着国内厂商的持续发力，这一问题目前得到了很大程度的改善。近日，清软微视自主研发的有图案晶圆缺陷检测设备 Alpha 9770 又收到一家国内知名客户的订单并成功发运，标志着清软微视的 Alpha 系列产品已经获得客户的广泛认可。
清软微视设备发运现场
此次清软微视交付的Alpha 9770机型是半导体前道制程有图案检测设备，适用于4/6、6/8、8/12英寸晶圆，以及 Si、SiC、GaN 及LT 等多种材料，可针对半导体工艺制程中的Inline、COW及COT进行高效率、高精确度的缺陷检测。Alpha 9770对标国外同类机台时，使用大视场、多通道成像技术，检测效率有大幅度提升；使用深度神经网络进行缺陷检出和分类，在检出率和准确率上都有大幅提升；同时配置了实时对焦功能，保证对不同沟槽深度及不同程度翘曲的晶圆片都能清晰成像。
