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AI驱动的半导体缺陷检测
解决方案平台

Omega 9870

Omega 9870

宏观缺陷检测设备

Mu 9660

Mu 9660

封测段缺陷检测设备

Alpha 9770

Alpha 9770

有图形晶圆缺陷检测设备

Omega 9880

Omega 9880

无图形晶圆缺陷检测设备

OpenLight

OpenLight

科研级晶圆缺陷检测平台

AI驱动的半导体缺陷检测解决方案平台
清软微视(杭州)科技有限公司是由杭州政府引进、清华大学入股的高新技术企业,聚焦 AI 驱动的半导体检测技术创新,核心团队来自清华大学、中科院及半导体龙头企业 KLA 等机构,研发人员硕博学历占比超 30%。

公司构建覆盖半导体全制程的检测体系:Omega 系列无图形晶圆检测设备采用自主研发多模态成像技术,攻克碳化硅及氮化镓等宽禁带材料缺陷检测难题,性能对标 KLA 8520 及 SICA 88;Alpha 系列有图形晶圆检测设备集成 AI 算法与大视场成像系统,前道工艺检测效率提升 30%,指标达 KLA 8935 与 Camtek Eagle 标准;Mu 系列 COT / COW 缺陷检测设备专为芯片厂出货检测设计,支持 3D 模块集成,检测结果对标 Camtek Eagle AP; 自主研发的 AIRS 人工智能复判系统替代 70% 人工复检,适配全制程质控;DataPulse 数据分析平台深度挖掘缺陷数据助力工艺优化。

作为杭州市 2022 年度第一批高层次人才创新创业重点推荐项目,清软微视在过去两年内分别获评国家高新技术企业、凤凰 511 新苗企业、杭州市博士创新站等荣誉,并成功参与国家科技部 2030 重大专项、浙江省尖兵项目等项目,致力于突破半导体产业链核心检测技术瓶颈,为行业“卡脖子”问题提供国产化解决方案。
2022

完成了天使轮

12+

自主研发产品

100+

顶尖院校高端人才

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